型號：Q150R
生產(chǎn)廠家：英國QUORUM

主要特點：
一款多功能緊湊型機械泵抽真空鍍膜系統(tǒng)，對于SEM樣品制備及其它鍍膜應用非常理想。直徑為165mm/6.5”的腔室可容納多種需要鍍導電膜的樣品 – 尤其用于在SEM應用中提高成像質量。
采用全自動控制的新型系統(tǒng)能夠在一次真空條件下順序濺鍍多達三層不同的金屬膜，靶材可選菜單有15種預設工作程序的材料，還能自動探測放入的晶圓尺寸如100，150，200或300mm。具有渦輪泵的高真空鍍膜儀使用標準濺射靶材，在系統(tǒng)中允許使用多種靶材，如易氧化金屬和貴金屬。